《魏书·释老志》记载，昙曜“开窟五所，镌建佛像各一，高者七十尺，次六十尺，雕饰奇伟，冠于一世。” 这便是后世所称的昙曜五窟。如今学术界将这五所洞窟编为第16~20窟，位于石窟整体的西区东侧，这里自然断崖较高、斩山工作量较小，是最利于开凿的地段。

　　五所洞窟的总体构想和设计方案均出自昙曜本人，他自凉州而来，熟悉西域佛影窟的形制，于是将旧例作为借鉴，并融入自己的想象。虽然如此，昙曜五窟中仍保留着明显的异域风情，可以看到犍陀罗艺术的影子：比如标志性的第20窟 “露天大佛”，肉髻高耸、长眉细眼、高鼻深目、嘴角上翘、蓄八字须，富有西方人种特征，体现了印度佛像艺术中保留的希腊痕迹；衣着也与印度佛装样式相似，内著僧祇支，络腋边缘有联珠、忍冬纹饰，外着袈裟，袒右肩，其上刻有厚重衣纹，似仿毛质衣料。再比如，第18窟主尊大佛东侧的十位弟子，高鼻深目、毛发卷曲、额头后倾、颧骨突出、下颚明显，均为典型的西洋面孔。而在窟形上，这五所洞窟皆为大像窟，半圆马蹄形、穹窿顶，明显受到印度礼拜窟支提的影响。

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　　最近的二十年，保护与研究还搭乘上了科技快车。2003年起，云冈通过近景摄影测量、手持三维激光扫描、站式三维激光扫描相结合的采集方式，对石窟进行数字化采集建模，计划在2030年前实现数字化全部覆盖，目前已完成了一半。/p>